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Einführung in die Mikrosystemtechnik

Einführung in die Mikrosystemtechnik

ein Kursbuch für Studierende

Autor*in: Dötzel, Wolfram; Gerlach, Gerald

Jahr: 2006

Sprache: Deutsch

Umfang: 385 S.

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Inhalt:
Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen.
Autor(en) Information:
Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach ist Inhaber des Lehrstuhls für Festkörperelektronik an der TU Dresden und hält Vorlesungen zur Mikrotechnik, Sensorik und Festkörper- und Optoelektronik. Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel ist Inhaber des Lehrstuhls für Mikro-system- und Gerätetechnik an der TU Chemnitz und hält Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik und Feinwerktechnik/Mikromechanik.
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