Einführung in die Mikrosystemtechnik
ein Kursbuch für Studierende
Autor*in: Dötzel, Wolfram; Gerlach, Gerald
Jahr: 2006
Sprache: Deutsch
Umfang: 385 S.
Verfügbar
- Inhalt:
- Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen.
- Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach ist Inhaber des Lehrstuhls für Festkörperelektronik an der TU Dresden und hält Vorlesungen zur Mikrotechnik, Sensorik und Festkörper- und Optoelektronik. Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel ist Inhaber des Lehrstuhls für Mikro-system- und Gerätetechnik an der TU Chemnitz und hält Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik und Feinwerktechnik/Mikromechanik.
Titelinformationen
Titel: Einführung in die Mikrosystemtechnik
Autor*in: Dötzel, Wolfram; Gerlach, Gerald
Verlag: Carl Hanser Verlag
ISBN: 3446405232
Schlagwort: Lehrbuch, Mikrosystemtechnik
Kategorie: Sachmedien & Ratgeber, Computer & Internet, Hardware & Technik Sachmedien & Ratgeber, Wissenschaft & Technik, Informatik Sachmedien & Ratgeber, Wissenschaft & Technik, Mess-, Steuerungs- & Automatisierungstechnik
Dateigröße: 9 MB
Format: PDF
Max. Ausleihdauer: 14 Tage